光刻機零部件冷熱沖擊試驗箱是一種用于驗證光刻機及其零部件在快速溫度變化下可靠性和穩(wěn)定性的專業(yè)設備。它通過模擬光刻機零部件在實際工作環(huán)境中可能經(jīng)歷的溫度波動，確保其在半導體制造的高精度工作條件下長期穩(wěn)定運行。以下是該設備的產(chǎn)品優(yōu)勢、性能特點、滿足的標準和工作條件。
精準的溫度控制：
該試驗箱配備高精度的溫控系統(tǒng)，可以精確控制溫度范圍和變化速率，確保測試過程中零部件在極端溫差下的可靠性和適應性。
高溫低溫快速變化：
試驗箱能夠?qū)崿F(xiàn)快速的溫度變化速率，從低溫到高溫之間的變化速度可以達到每分鐘10℃甚至更高，真實模擬光刻機在極端工作環(huán)境中的溫度波動。
高容量的測試空間：
適用于各種尺寸的光刻機零部件，測試空間足夠?qū)挸?，能夠容納不同形狀和大小的部件進行穩(wěn)定的冷熱沖擊測試。
高效的數(shù)據(jù)記錄與分析：
配備智能化的自動化測試系統(tǒng)，能夠自動記錄測試過程中溫度變化、時間周期以及零部件狀態(tài)，便于進行數(shù)據(jù)分析和故障預測。
強大的安全保障：
試驗箱配備了多重安全保護機制，如溫度過高保護、短路保護、自動斷電保護等，確保設備的安全運行。
耐用性和穩(wěn)定性：
采用高質(zhì)量的材料和精密工藝，確保試驗箱在長時間連續(xù)運行下的穩(wěn)定性和耐用性，減少維修頻率，延長設備使用壽命。
溫度范圍：
通常溫度范圍從-70°C到+200°C，具體溫度范圍可根據(jù)客戶需求定制，適應各種光刻機零部件的測試需求。
溫度變化速率：
溫度變化速率可以達到每分鐘10℃或更高，能夠模擬快速冷熱交替的工作環(huán)境，測試零部件在不同溫差下的抗性。
溫度均勻性：
試驗箱內(nèi)部溫度分布均勻，避免因溫差不均勻?qū)е碌臏y試結(jié)果偏差。確保零部件在整個測試過程中受到一致的溫度沖擊。
測試空間：
大型測試空間設計，能夠同時測試多個零部件或較大的部件，適應光刻機零部件的不同尺寸和形狀要求。
數(shù)據(jù)采集與分析功能：
配備先進的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，可以實時監(jiān)測并記錄測試過程中溫度變化、時間周期、零部件狀態(tài)等數(shù)據(jù)，生成詳細的測試報告，幫助分析零部件的性能。
自動化控制：
自動化控制系統(tǒng)使得測試過程簡便高效，用戶只需設置參數(shù)，設備即可自動運行并完成測試，減少人工操作和誤差。
IEC標準：
滿足國際電工委員會（IEC）制定的環(huán)境試驗相關(guān)標準，確保產(chǎn)品符合國際電氣與電子設備的環(huán)境適應性要求。
ISO標準：
滿足ISO 9001等質(zhì)量管理體系標準，確保設備的制造和性能符合行業(yè)標準，提升產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。
MIL-STD標準：
適用于軍事標準（MIL-STD）中對溫度沖擊的要求，確保設備能夠在嚴苛環(huán)境下進行可靠的測試。
JIS標準：
滿足日本工業(yè)標準（JIS）中的環(huán)境試驗要求，特別適合亞洲地區(qū)的制造企業(yè)使用。
GBT標準：
依照中國國家標準（GBT）進行設計和制造，符合中國市場的需求，特別適合國內(nèi)半導體制造企業(yè)。
RoHS標準：
符合歐盟關(guān)于限制有害物質(zhì)的RoHS指令，確保設備環(huán)保無污染。
環(huán)境溫度：
環(huán)境溫度通常要求在5°C至30°C之間，過高或過低的環(huán)境溫度可能會影響設備的穩(wěn)定性和測試結(jié)果的準確性。
濕度要求：
試驗箱應在相對濕度為50%至70%的環(huán)境中使用，濕度過高或過低可能會對測試結(jié)果產(chǎn)生影響，特別是在測試敏感電子部件時。
電力供應：
設備需要穩(wěn)定的電力供應，通常為220V±10%，50Hz的交流電，確保設備能夠持續(xù)運行。
通風要求：
試驗箱應放置在通風良好的環(huán)境中，以防止設備過熱或內(nèi)部積熱影響設備的正常運行。
氣候控制：
在進行冷熱沖擊測試時，確保試驗箱周圍的氣候條件穩(wěn)定，不受外界溫濕度變化的影響，以保證測試結(jié)果的準確性。
設備維護：
定期對設備進行清潔和保養(yǎng)，確保溫控系統(tǒng)和機械部件的正常運轉(zhuǎn)，避免長期使用中的故障和性能下降。
光刻機零部件冷熱沖擊試驗箱是保障光刻機高精度運行的重要設備，能夠模擬各種極端環(huán)境，驗證零部件在極端溫度變化下的穩(wěn)定性和耐用性。通過溫度沖擊測試，可以有效預防因材料不穩(wěn)定或零部件失效而導致的設備故障，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。選擇一款性能優(yōu)越、符合標準、滿足工作條件的冷熱沖擊試驗箱，是半導體制造及精密設備行業(yè)不可或缺的質(zhì)量保證環(huán)節(jié)。
內(nèi)箱容積: | 50L、100L、150L、1000L（可按需訂制不同尺寸） |
內(nèi)箱尺寸: | W350mm*H400mm*D350mm |
外箱尺寸: | 1230×1830×1270（W×H×D） |
溫度范圍 : | -70℃ ~+150℃ |
溫度偏差 : | ±0.3℃ |
溫濕度均差: | ±2℃ |
儲冷時間: | RT→－75℃ ≤ 65min |
儲熱時間: | RT→170℃ ≤ 35min |
內(nèi)箱材質(zhì): | SUS#304鋼板 |
外箱材質(zhì): | A3冷扎鋼板靜電噴涂 |
壓縮機: | 原裝進口壓縮機（泰康/博客） |
運行方式： | 程序方式、定值方式 |
冷卻方式: | 風冷或水冷 |
通訊接口: | RS232、USB |
冷凝器: | 不銹鋼釬焊板式換熱器 |
加熱器/蒸發(fā)器: | 鎳鉻合金電加熱器/翅片式蒸發(fā)器 |
標準配置: | 測試孔、照明燈、2塊隔層架、雙層真空玻璃觀察窗 |
電源: | AC380V 50/60HZ |
廣東德瑞檢測設備有限公司對其所銷售的產(chǎn)品采取統(tǒng)一的服務規(guī)范和流程。旨在強化企業(yè)管理，完善售后服務體系，保障用戶合法權(quán)益。使儀器能夠充分發(fā)揮其功能，為用戶最大程度地服務，最大程度地創(chuàng)造效益。
二、儀器設備的安裝、驗收
1、我公司負責將儀器運輸?shù)接脩糁付ǖ攸c。
2、用戶在收到儀器7天內(nèi)，進行仔細檢查，有問題及時和我公司聯(lián)系，否則過期不予更換。
3、儀器到達指定地點后，我公司將派人員按合同進行系統(tǒng)安裝與軟件調(diào)試，確保系統(tǒng)能按合同要求及期限進入正常運行。
三、技術(shù)培訓
1、培訓目標
① 硬件：通過培訓能使客戶了解硬件產(chǎn)品的組成，其工作原理，基本掌握儀器的操作，及操作注意事項。
② 軟件：通過培訓能使客戶了解該軟件的功能，基本掌握軟件的操作，能夠進行實際操作測試。
2、培訓地點
一般為客戶單位，在我公司也可以。
3、培訓次數(shù)
我公司可免費為用戶培訓兩次，第三次開始將收一定費用（主要是技術(shù)人員的差旅及薪資）。
四、保修條例
軟件的升級我司所有儀器含電腦軟件產(chǎn)品，提供免費升級，保證與新標準同步廣東德瑞檢測設備有限公司保修條例我們根據(jù)國際慣例和國內(nèi)具體情況，遵循如下保修條例：
1、您所購買儀器免費保修期為壹年(有特別說明的按照說明)，從購買產(chǎn)品之日起算。在此期間，您的儀器如果發(fā)生問題，可以到本公司進行免費咨詢并提供保修服務（耗材用品不在保修之列）。長期提供技術(shù)咨詢、維護服務。
2、根據(jù)國家有關(guān)規(guī)定，因下列情況造成儀器故障不在免費保修之列：
①用戶使用不當，或未按照儀器使用說明進行操作而造成的故障
②儀器在發(fā)生故障后，用戶自行拆開檢修，或請其它公司進行維修
③儀器機身編號有涂改的
④在儀器使用期間因碰撞、水浸等造成的人為損壞
⑤因意外災害事故（如火災、水災、地震、雷擊、爆炸等等）造成的故障
3、在保修期內(nèi)，產(chǎn)品使用過程中出現(xiàn)問題，可通過電話、函件處理。以上方式如無法處理，我司工程師則48小時內(nèi)到達貴公司現(xiàn)場服務，免費維修。
4、超出保修期的儀器，我公司與您續(xù)簽服務協(xié)議，將繼續(xù)為您提供良好、周到的服務。
